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关于广东河源洁净棚中的温度湿度如何操纵的探讨

文章出处:鹏宇净化电子责任编辑:网络部人气:发表时间:2019-11-15 14:24:47【

洁净棚的温度湿度关键是依据加工工艺规定来明确,但在考虑加工工艺规定的标准下,应充分考虑人的舒适感感。随之气体洁净度等级规定的提升,出現了加工工艺对温度湿度的规定也愈来愈严的发展趋势。

实际加工工艺对溫度的规定之后也要例举,但做为总体标准看,因为生产加工精密度愈来愈细致,因此对溫度起伏范畴的规定愈来愈小。比如在规模性集成电路芯片生产制造的光刻曝出加工工艺中,做为掩膜板原材料的夹层玻璃与硅单晶的线膨胀系数的差规定愈来愈小。直经100um的硅单晶,溫度升高1度,就造成了0.24um线形澎涨,因此务必有±0.1度的控温,另外规定环境湿度值一般较低,由于人流汗之后,对商品将有环境污染,非常是怕钠的半导体材料生产车间,这类生产车间不适合超出25度。
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环境湿度过高造成的难题大量,空气湿度超出一半时,冷却循环水壁厚上面冷凝水,假如产生在高精密设备或电源电路中,就会造成各种各样安全事故。空气湿度在一半时最易锈蚀。除此之外,环境湿度太高时将根据气体中的氧分子把硅单晶表层黏着的尘土有机化学吸咐在表层耐无法消除。空气湿度越高,黏附的难除掉,但当空气湿度小于30%时,又因为静电力的功效使物体也非常容易吸咐于表层,另外很多集成电路工艺非常容易产生热击穿。针对硅单晶生产制造最好溫度范畴为35—45%。
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